Tunable mechanical resonator with aluminum nitride piezoelectric

Olivares Roza, Jimena; Malo Gomez, Javier; González Castilla, Sheila; Iborra Grau, Enrique; Clement Lorenzo, Marta; Sanz Hervás, Alfredo; Sanchez Rojas, J.L. y Sanz, P. (2006). Tunable mechanical resonator with aluminum nitride piezoelectric. "Proceedings- Spie the International Society for Optical Engineering", v. 6186 (n. 1); pp.. ISSN 0277-786X. https://doi.org/10.1117/12.664444.

Descripción

Título: Tunable mechanical resonator with aluminum nitride piezoelectric
Autor/es:
  • Olivares Roza, Jimena
  • Malo Gomez, Javier
  • González Castilla, Sheila
  • Iborra Grau, Enrique
  • Clement Lorenzo, Marta
  • Sanz Hervás, Alfredo
  • Sanchez Rojas, J.L.
  • Sanz, P.
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Proceedings- Spie the International Society for Optical Engineering
Fecha: Abril 2006
Volumen: 6186
Materias:
Escuela: E.U.I.T. Telecomunicación (UPM) [antigua denominación]
Departamento: Sistemas Electrónicos y de Control [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

Texto completo

[img]
Vista Previa
PDF (Document Portable Format) - Se necesita un visor de ficheros PDF, como GSview, Xpdf o Adobe Acrobat Reader
Descargar (515kB) | Vista Previa

Resumen

The electromechanical response of piezoelectrically-actuated AlN micromachined bridge resonators has been characterized using laser interferometry and electrical admittance measurements. We compare the response of microbridges with different dimensions and buckling (induced by the initial residual stress of the layers). The resonance frequencies are in good agreement with numerical simulations of the electromechanical behavior of the structures. We show that it is possible to perform a rough tuning of the resonance frequencies by allowing a determined amount of builtin stress in the microbridge during its fabrication. Once the resonator is made, a DC bias added to the AC excitation signal allows to fine-tune the frequency. Our microbridges yield a tuning factor of around 88 Hz/V for a 500 ?m-long microbridge.

Más información

ID de Registro: 10857
Identificador DC: http://oa.upm.es/10857/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:10857
Identificador DOI: 10.1117/12.664444
URL Oficial: http://spie.org/
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 28 May 2012 10:20
Ultima Modificación: 20 Abr 2016 19:03
  • Open Access
  • Open Access
  • Sherpa-Romeo
    Compruebe si la revista anglosajona en la que ha publicado un artículo permite también su publicación en abierto.
  • Dulcinea
    Compruebe si la revista española en la que ha publicado un artículo permite también su publicación en abierto.
  • Recolecta
  • e-ciencia
  • Observatorio I+D+i UPM
  • OpenCourseWare UPM