Reflectance anisotropy spectroscopy assessment of the MOVPE nucleation of GaInP on Germanium (100)

Barrigón Montañés, Enrique; Galiana Blanco, Beatriz y Rey-Stolle Prado, Ignacio (2011). Reflectance anisotropy spectroscopy assessment of the MOVPE nucleation of GaInP on Germanium (100). "Journal of Crystal Growth", v. 315 (n. 1); pp. 22-27. ISSN 0022-0248. https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2010.09.038.

Descripción

Título: Reflectance anisotropy spectroscopy assessment of the MOVPE nucleation of GaInP on Germanium (100)
Autor/es:
  • Barrigón Montañés, Enrique
  • Galiana Blanco, Beatriz
  • Rey-Stolle Prado, Ignacio
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Journal of Crystal Growth
Fecha: Enero 2011
Volumen: 315
Materias:
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Electrónica Física
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

This work summarizes the observations made on the variation and time evolution of the reflectanceanisotropy signal during the MOVPE growth of GaInPnucleation layers on Germanium substrates. This in situ monitoring tool is used to assess the impact of different nucleation routines and reactor conditions on the quality of the layers grown. This comparison is carried out by establishing a correlation between reflectanceanisotropy signature at 2.1 eV and the morphology of the epilayers evaluated by atomic force microscopy (AFM). This paper outlines the potential of reflectanceanisotropy to predict, explore, and therefore optimize, the best growth conditions that lead to a high quality III–V epilayer on a Ge substrate

Más información

ID de Registro: 11614
Identificador DC: http://oa.upm.es/11614/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:11614
Identificador DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2010.09.038
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 17 Jul 2012 07:48
Ultima Modificación: 20 Abr 2016 19:38
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