Critical aspects of substrate nanopatterning for the ordered growth of GaN nanocolumns.

Barbagini, Francesca; Bengoechea Encabo, Ana; Albert, Steven; Martinez Rodrigo, Javier; Sánchez García, Miguel Angel; Trampert, Achim y Calleja Pardo, Enrique (2011). Critical aspects of substrate nanopatterning for the ordered growth of GaN nanocolumns.. "Nanoscale research letters", v. 6 (n. 1); pp. 632-641. ISSN 1556-276X.

Descripción

Título: Critical aspects of substrate nanopatterning for the ordered growth of GaN nanocolumns.
Autor/es:
  • Barbagini, Francesca
  • Bengoechea Encabo, Ana
  • Albert, Steven
  • Martinez Rodrigo, Javier
  • Sánchez García, Miguel Angel
  • Trampert, Achim
  • Calleja Pardo, Enrique
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Nanoscale research letters
Fecha: Diciembre 2011
Volumen: 6
Materias:
Palabras Clave Informales: GaN nanocolumns, ordered growth, molecular beam epitaxy, surface cleaning, roughness, adhesion, e-beam lithography, colloidal lithography, focused ion beam
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Ingeniería Electrónica
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

Texto completo

[img]
Vista Previa
Pdf - Se necesita un visor de ficheros PDF, como GSview, Xpdf o Adobe Acrobat Reader
Descargar (1MB) | Vista Previa

Localizaciones alternativas

URL Oficial: http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3264675/

Resumen

Precise and reproducible surface nanopatterning is the key for a successful ordered growth of GaN nanocolumns. In this work, we point out the main technological issues related to the patterning process, mainly surface roughness and cleaning, and mask adhesion to the substrate. We found that each of these factors, process-related, has a dramatic impact on the subsequent selective growth of the columns inside the patterned holes. We compare the performance of e-beam lithography, colloidal lithography, and focused ion beam in the fabrication of hole-patterned masks for ordered columnar growth. These results are applicable to the ordered growth of nanocolumns of different materials.

Proyectos asociados

TipoCódigoAcrónimoResponsableTítulo
FP7228999SMASHSin especificarSmart Nanostructured Semiconductors for Energy-Saving Light Solutions
Comunidad de MadridP2009/ESP-1503Sin especificarSin especificarSin especificar

Más información

ID de Registro: 11861
Identificador DC: http://oa.upm.es/11861/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:11861
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 15 Oct 2012 09:45
Ultima Modificación: 03 Dic 2014 09:35
  • Open Access
  • Open Access
  • Sherpa-Romeo
    Compruebe si la revista anglosajona en la que ha publicado un artículo permite también su publicación en abierto.
  • Dulcinea
    Compruebe si la revista española en la que ha publicado un artículo permite también su publicación en abierto.
  • Recolecta
  • e-ciencia
  • Observatorio I+D+i UPM
  • OpenCourseWare UPM