Sputter optimization of AlN on diamond substrates for high frequency SAW resonators

Rodriguez Madrid, Juan; Fuentes Iriarte, Gonzalo; Calle Gómez, Fernando; Araujo, Daniel; Villar, María Del Pilar y Williams, Oliver A. (2011). Sputter optimization of AlN on diamond substrates for high frequency SAW resonators. En: "8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011", 09/02/2011 - 11/02/2011, Palma de Mallorca, España. ISBN 978-1-4244-7863-7. pp. 1-4. https://doi.org/10.1109/SCED.2011.5744181.

Descripción

Título: Sputter optimization of AlN on diamond substrates for high frequency SAW resonators
Autor/es:
  • Rodriguez Madrid, Juan
  • Fuentes Iriarte, Gonzalo
  • Calle Gómez, Fernando
  • Araujo, Daniel
  • Villar, María Del Pilar
  • Williams, Oliver A.
Tipo de Documento: Ponencia en Congreso o Jornada (Artículo)
Título del Evento: 8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011
Fechas del Evento: 09/02/2011 - 11/02/2011
Lugar del Evento: Palma de Mallorca, España
Título del Libro: Proceedings of the 8th Spanish Conference on Electron Devices, CDE'2011
Fecha: 2011
ISBN: 978-1-4244-7863-7
Materias:
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Ingeniería Electrónica
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

The AlN/diamond structure is an attractive combination for SAW devices and its application at high frequencies. In this work, the synthesis of AlN thin films by reactive sputtering has been optimized on diamond substrates in order to process high frequency devices. Polished microcrystalline and as-grown nanocrystalline diamond substrates have been used to deposit AlN of different thickness under equal sputtering conditions. For the smoother substrates, the FWHM of the rocking curve of the (002) AlN peak varies from 3.8° to 2.7° with increasing power. SAW one port resonators have been fabricated on these films, whose electrical characterization (in terms of S11 parameters) is reported.

Más información

ID de Registro: 11973
Identificador DC: http://oa.upm.es/11973/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:11973
Identificador DOI: 10.1109/SCED.2011.5744181
URL Oficial: http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=5744181
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 18 Dic 2012 17:52
Ultima Modificación: 21 Abr 2016 11:10
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