Characterization of Amorphous Tantalum Oxide for Insulating Acoustic Mirrors

Capilla Osorio, José; Olivares Roza, Jimena; Clement Lorenzo, Marta; Sangrador García, Jesús; Iborra Grau, Enrique y Devos, Arnaud (2011). Characterization of Amorphous Tantalum Oxide for Insulating Acoustic Mirrors. En: "2011 Joint conference of the IEEE International Frequency Control and the European Frequency and Time Forum (FCS)", 01/05/2011 - 05/05/2011, San Francisco, EE.UU.. ISBN 978-1-61284-111-3. pp. 1-6. https://doi.org/10.1109/FCS.2011.5977833.

Descripción

Título: Characterization of Amorphous Tantalum Oxide for Insulating Acoustic Mirrors
Autor/es:
  • Capilla Osorio, José
  • Olivares Roza, Jimena
  • Clement Lorenzo, Marta
  • Sangrador García, Jesús
  • Iborra Grau, Enrique
  • Devos, Arnaud
Tipo de Documento: Ponencia en Congreso o Jornada (Artículo)
Título del Evento: 2011 Joint conference of the IEEE International Frequency Control and the European Frequency and Time Forum (FCS)
Fechas del Evento: 01/05/2011 - 05/05/2011
Lugar del Evento: San Francisco, EE.UU.
Título del Libro: 2011 Joint conference of the IEEE International Frequency Control and the European Frequency and Time Forum (FCS)
Fecha: 2011
ISBN: 978-1-61284-111-3
Materias:
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

This work describes the assessment of the acoustic properties of sputtered tantalum oxide films intended as high impedance films for the acoustic isolation of bulk acoustic wave devices operating in the GHz frequency range. The films are grown by sputtering a metallic tantalum target under different oxygen and argon gas mixtures, total pressures, pulsed DC powers and substrate bias. The structural properties of the films are assessed through infrared absorption spectroscopy and X-ray diffraction measurements. Their acoustic impedance is obtained after estimating the mass density by X-ray reflectometry measurements and the longitudinal acoustic velocity by analyzing the longitudinal λ/2 resonance induced in a tantalum oxide film inserted between an acoustic reflector and an AlN-based resonator. A second measurement of the sound velocity is achieved through picosecond acoustic spectroscopy.

Más información

ID de Registro: 12630
Identificador DC: http://oa.upm.es/12630/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:12630
Identificador DOI: 10.1109/FCS.2011.5977833
URL Oficial: http://ieeexplore.ieee.org/xpl/mostRecentIssue.jsp?punumber=5959913
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 02 Ago 2012 08:34
Ultima Modificación: 21 Abr 2016 11:54
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