Fabrication of GaN nanorods by focused ion beam

Martinez Rodrigo, Javier; Barbagini, Francesca; Bengoechea Encabo, Ana; Albert, Steven; Sánchez García, Miguel Angel y Calleja Pardo, Enrique (2011). Fabrication of GaN nanorods by focused ion beam. En: "37th International Conference on Micro and Nano Engineering", 19/09/2011 - 23/09/2011, Berlín, Alemania. pp..

Descripción

Título: Fabrication of GaN nanorods by focused ion beam
Autor/es:
  • Martinez Rodrigo, Javier
  • Barbagini, Francesca
  • Bengoechea Encabo, Ana
  • Albert, Steven
  • Sánchez García, Miguel Angel
  • Calleja Pardo, Enrique
Tipo de Documento: Ponencia en Congreso o Jornada (Póster)
Título del Evento: 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
Fechas del Evento: 19/09/2011 - 23/09/2011
Lugar del Evento: Berlín, Alemania
Título del Libro: Proceedings of 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
Fecha: 2011
Materias:
Escuela: Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM) (UPM)
Departamento: Otro
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

Ordered arrays of III-Nitride nanocolumns are excellent candidates for the fabrication of nano-optoelectronic devices. Different technologies such as e-beam lithography or colloidal lithography, have been used to obtain ordered arrays. All these technologies have in common several processing steps that can affect the crystalline growth of the nanocolumns. In this work, we present a single lithographic step that permits to grow ordered GaN nanocolumns with different geometries. The patterning is based in the use of a focusedionbeam with different doses. With this method has been possible to create GaN nanopillars and nanocylinders

Más información

ID de Registro: 12911
Identificador DC: http://oa.upm.es/12911/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:12911
URL Oficial: http://www.mne2011.org/
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 08 Nov 2012 11:01
Ultima Modificación: 21 Abr 2016 12:14
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