Fabrication of luminescent nanostructures by electron-beam direct writing of PMMA resist

Angulo Barrios, Carlos; Carrasco, S.; Canalejas Tejero, Victor; López-Romero Moraleda, David; Navarro Villoslada, Fernando; Moreno-Bondi, M.C.; García Fierro, José Luis y Capel Sánchez, M.C. (2012). Fabrication of luminescent nanostructures by electron-beam direct writing of PMMA resist. "Materials Letters", v. 88 ; pp. 93-96. ISSN 0167-577X. https://doi.org/10.1016/j.matlet.2012.08.035.

Descripción

Título: Fabrication of luminescent nanostructures by electron-beam direct writing of PMMA resist
Autor/es:
  • Angulo Barrios, Carlos
  • Carrasco, S.
  • Canalejas Tejero, Victor
  • López-Romero Moraleda, David
  • Navarro Villoslada, Fernando
  • Moreno-Bondi, M.C.
  • García Fierro, José Luis
  • Capel Sánchez, M.C.
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Materials Letters
Fecha: Diciembre 2012
Volumen: 88
Materias:
Palabras Clave Informales: Organic luminiscent films; Nanophotonics; Nanotechnology; Electron-beam lithography; Organic resists; Poly(methylmethacrylate)
Escuela: Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM) (UPM)
Departamento: Otro
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

We report on the conversion of non-luminescent conventional poly(methylmethacrylate) (PMMA)-based electron-beam resists into luminescent materials when used as negative-tone resists, that is, when exposed to high electron irradiation doses. Raman spectroscopy reveals the chemical transformation induced by electron irradiation which is responsible for the observed luminescence in the visible (blue) region. The emission intensity from exposed PMMA-based patterns can be controlled by the electron irradiation dose employed to create them.

Más información

ID de Registro: 15762
Identificador DC: http://oa.upm.es/15762/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:15762
Identificador DOI: 10.1016/j.matlet.2012.08.035
URL Oficial: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167577X12011457
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 22 Jul 2013 18:59
Ultima Modificación: 01 Ene 2015 23:56
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