Electrical detection of the mechanical resonances in AlN-actuated microbridges for mass sensing applications

González Castilla, Sheila; Olivares Roza, Jimena; Clement Lorenzo, Marta; Iborra Grau, Enrique; Sangrador García, Jesús; Malo Gomez, Javier y Izpura Torres, José Ignacio (2008). Electrical detection of the mechanical resonances in AlN-actuated microbridges for mass sensing applications. "Applied Physics Letters", v. 92 (n. 18); pp. 183506-1. ISSN 0003-6951. https://doi.org/10.1063/1.2924284.

Descripción

Título: Electrical detection of the mechanical resonances in AlN-actuated microbridges for mass sensing applications
Autor/es:
  • González Castilla, Sheila
  • Olivares Roza, Jimena
  • Clement Lorenzo, Marta
  • Iborra Grau, Enrique
  • Sangrador García, Jesús
  • Malo Gomez, Javier
  • Izpura Torres, José Ignacio
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Applied Physics Letters
Fecha: Mayo 2008
Volumen: 92
Materias:
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Ingeniería Electrónica
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

We report the fabrication and frequency characterization of mechanical resonators piezoelectrically actuated with aluminum nitride films. The resonators consist of a freestanding unimorph structure made up of a metal/AlN/metal piezoelectric stack and a Si3N4 supporting layer. We show that the electrical impedance of the one-port device can be used to assess the vibrational behavior of the resonators, provided that the modes do not exhibit specific symmetries, for which the impedance variations cancel. Frequency shifts arise when loading the resonators with small masses. As gravimetric sensors, the microbridges exhibit mass sensitivities of 0.18 fg/Hz for vibrational modes around 2 MHz.

Más información

ID de Registro: 2483
Identificador DC: http://oa.upm.es/2483/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:2483
Identificador DOI: 10.1063/1.2924284
URL Oficial: http://scitation.aip.org/content/aip/journal/apl/92/18/10.1063/1.2924284
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 04 Mar 2010 10:13
Ultima Modificación: 27 Nov 2015 08:41
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