Simulation and laser vibrometry characterization of piezoelectric AlN thin films

Hernando García, Jorge; Sánchez de Rojas Aldavero, José Luis; González Castilla, Sheila; Iborra Grau, Enrique; Ababneh, A. y Schmid, U. (2008). Simulation and laser vibrometry characterization of piezoelectric AlN thin films. "Journal of Applied Physics", v. 104 (n. 5); pp. 53502-1. ISSN 0021-8979. https://doi.org/10.1063/1.2957081.

Descripción

Título: Simulation and laser vibrometry characterization of piezoelectric AlN thin films
Autor/es:
  • Hernando García, Jorge
  • Sánchez de Rojas Aldavero, José Luis
  • González Castilla, Sheila
  • Iborra Grau, Enrique
  • Ababneh, A.
  • Schmid, U.
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Journal of Applied Physics
Fecha: Septiembre 2008
Volumen: 104
Materias:
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

In this paper, the electric field induced deformations of sputter-deposited piezoelectric aluminum nitride thin films sandwiched between electrodes on top of a silicon substrate are studied by numerical calculations and scanning laser interferometric measurements. In our calculations based on the finite element method, the results show the displacement of the top and bottom surfaces of both the thin film and the substrate, for either a free or a perfectly clamped structure. The confirmation that the bottom surface of the film is deformed reveals the limitations of techniques that only access the top surface, as well as the double-beam interferometric configuration, under specific conditions. In addition, the simulations demonstrate the dependence of the displacements on the size of the upper electrode and the contribution of the transverse piezoelectric coefficient d31 to the features of the displacement profiles. A laser scanning vibrometry technique was used to measure deformations on the top surface with subpicometer vertical resolution. By comparing the calculated and the experimental displacement profiles, an advanced approach is discussed to obtain accurate quantitative information of both coefficients d31 and d33.

Más información

ID de Registro: 2618
Identificador DC: http://oa.upm.es/2618/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:2618
Identificador DOI: 10.1063/1.2957081
URL Oficial: http://jap.aip.org/
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 18 Mar 2010 10:45
Ultima Modificación: 20 Abr 2016 12:15
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