Heat losses in a CVD reactor for polysilicon: comprehensive model and experimental validation

Ramos Cabal, Alba; Rodríguez Rodríguez, Araceli; Cañizo Nadal, Carlos del; Valdehita Torija, Javier; Zamorano Saavedra, Juan Carlos y Luque López, Antonio (2014). Heat losses in a CVD reactor for polysilicon: comprehensive model and experimental validation. "Journal of Crystal Growth", v. 402 ; ISSN 0022-0248.

Descripción

Título: Heat losses in a CVD reactor for polysilicon: comprehensive model and experimental validation
Autor/es:
  • Ramos Cabal, Alba
  • Rodríguez Rodríguez, Araceli
  • Cañizo Nadal, Carlos del
  • Valdehita Torija, Javier
  • Zamorano Saavedra, Juan Carlos
  • Luque López, Antonio
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Journal of Crystal Growth
Fecha: 14 Septiembre 2014
Volumen: 402
Materias:
Palabras Clave Informales: B1. Polysilicon; A3. Chemical vapour deposition (CVD); A1. Heat transfer mechanisms; B2. Solar grade silicon
Escuela: Instituto de Energía Solar (IES) (UPM)
Departamento: Otro
Grupo Investigación UPM: Silicio y Nuevos Conceptos para Células Solares
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - No comercial - Compartir igual

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Resumen

This work addresses heat losses in a CVD reactor for polysilicon production. Contributions to the energy consumption of the so-called Siemens process are evaluated, and a comprehensive model for heat loss is presented. A previously-developed model for radiative heat loss is combined with conductive heat loss theory and a new model for convective heat loss. Theoretical calculations are developed and theoretical energy consumption of the polysilicon deposition process is obtained. The model is validated by comparison with experimental results obtained using a laboratory-scale CVD reactor. Finally, the model is used to calculate heat consumption in a 36-rod industrial reactor; the energy consumption due to convective heat loss per kilogram of polysilicon produced is calculated to be 22-30 kWh/kg along a deposition process.

Más información

ID de Registro: 30078
Identificador DC: http://oa.upm.es/30078/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:30078
Depositado por: Profesor Titular Carlos del Cañizo Nadal
Depositado el: 18 Jun 2014 10:04
Ultima Modificación: 01 Oct 2016 22:30
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