BAW Resonators Based on AlN with Ir Electrodes for Digital Wireless Transmissions

Iborra Grau, Enrique; Clement Lorenzo, Marta; Olivares Roza, Jimena; González Castilla, Sheila; Sangrador García, Jesús; Rimmer, Nick; Rastogi, A.; Ivira, B. y Reinhardt, Alexandre (2008). BAW Resonators Based on AlN with Ir Electrodes for Digital Wireless Transmissions. En: "2008 IEEE International Ultrasonics Symposium", 02/11/2008-05/11/2008, Pekin, China. ISBN 978-1-4244-2428-3.

Descripción

Título: BAW Resonators Based on AlN with Ir Electrodes for Digital Wireless Transmissions
Autor/es:
  • Iborra Grau, Enrique
  • Clement Lorenzo, Marta
  • Olivares Roza, Jimena
  • González Castilla, Sheila
  • Sangrador García, Jesús
  • Rimmer, Nick
  • Rastogi, A.
  • Ivira, B.
  • Reinhardt, Alexandre
Tipo de Documento: Ponencia en Congreso o Jornada (Artículo)
Título del Evento: 2008 IEEE International Ultrasonics Symposium
Fechas del Evento: 02/11/2008-05/11/2008
Lugar del Evento: Pekin, China
Título del Libro: Proceedings of 2008 IEEE International Ultrasonics Symposium Proceedings
Fecha: 2 Noviembre 2008
ISBN: 978-1-4244-2428-3
Materias:
Palabras Clave Informales: Iridium, AlN, BAW resonator, BAW filter.
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

We investigate the performance of aluminum nitride (AlN)-based solidly mounted resonators (SMR) made with iridium (Ir) electrodes for applications in WCDMA filters. Ir/AlN/Ir stacks are grown on top of insulating Bragg mirrors composed of alternate λ/4 layers of silicon oxycarbide (SiOC) and silicon nitride (Si3N4). We have developed the technological processes for the fabrication of filters including the trimming of the Ir top electrode for the tuning of the bandwidth. The influence of the thickness of the top electrode after the tuning process in the performance of the SMRs and filters is analyzed. The performance of the devices is compared with that of SMRs and filters of identical design made with Mo electrodes.

Más información

ID de Registro: 3854
Identificador DC: http://oa.upm.es/3854/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:3854
URL Oficial: http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=04803331
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 29 Jul 2010 10:51
Ultima Modificación: 20 Abr 2016 13:18
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