Advanced determination of piezoelectric properties of AlN thin films on silicon substrates

Sánchez de Rojas Aldavero, José Luis; Hernando García, Jorge; Ababneh, A.; Schmid, U.; Olivares Roza, Jimena; Iborra Grau, Enrique y Clement Lorenzo, Marta (2008). Advanced determination of piezoelectric properties of AlN thin films on silicon substrates. En: "2008 IEEE International Ultrasonics Symposium", 02/11/2008-05/11/2008, Beijing, China. ISBN 978-1-4244-2428-3. pp. 903-906. https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2008.0218.

Descripción

Título: Advanced determination of piezoelectric properties of AlN thin films on silicon substrates
Autor/es:
  • Sánchez de Rojas Aldavero, José Luis
  • Hernando García, Jorge
  • Ababneh, A.
  • Schmid, U.
  • Olivares Roza, Jimena
  • Iborra Grau, Enrique
  • Clement Lorenzo, Marta
Tipo de Documento: Ponencia en Congreso o Jornada (Artículo)
Título del Evento: 2008 IEEE International Ultrasonics Symposium
Fechas del Evento: 02/11/2008-05/11/2008
Lugar del Evento: Beijing, China
Título del Libro: Ultrasonics Symposium, 2008. IUS 2008. IEEE
Fecha: Noviembre 2008
ISBN: 978-1-4244-2428-3
Materias:
Palabras Clave Informales: Piezoelectric constants; Aluminum Nitride; vibromete
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

Texto completo

[img]
Vista Previa
PDF (Document Portable Format) - Se necesita un visor de ficheros PDF, como GSview, Xpdf o Adobe Acrobat Reader
Descargar (615kB) | Vista Previa

Resumen

Piezoelectric deformations of thin, aluminum nitride (AlN) layers, on top of a silicon substrate, were studied by numerical calculations and interferometric measurements. Our calculation by finite element method demonstrates that substrate deformation under the top electrode may be comparable to the electric field induced deformation in the thin AlN layer, for a given applied voltage. Simulations also show the effect of a clamped or free substrate condition and the relative contributions of d33 and d31 piezoelectric constants. A Laser scanning vibrometry technique was used to measure deformations in the top surface with sub-picometer vertical resolution. By comparing calculations and experimental data, quantitative information about both d33 and d31 constants can be obtained.

Más información

ID de Registro: 3858
Identificador DC: http://oa.upm.es/3858/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:3858
Identificador DOI: 10.1109/ULTSYM.2008.0218
URL Oficial: http://ieeexplore.ieee.org/xpl/mostRecentIssue.jsp?punumber=4798694
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 23 Jul 2010 08:17
Ultima Modificación: 20 Abr 2016 13:18
  • Open Access
  • Open Access
  • Sherpa-Romeo
    Compruebe si la revista anglosajona en la que ha publicado un artículo permite también su publicación en abierto.
  • Dulcinea
    Compruebe si la revista española en la que ha publicado un artículo permite también su publicación en abierto.
  • Recolecta
  • e-ciencia
  • Observatorio I+D+i UPM
  • OpenCourseWare UPM