Piezoelectric characterization of ain thin films on silicon substrates

Hernando García, Jorge; Sánchez de Rojas Aldavero, José Luis; Ababneh, A.; Schmid, U.; González Castilla, Sheila y Iborra Grau, Enrique (2008). Piezoelectric characterization of ain thin films on silicon substrates. En: "XXII Eurosensors 2008", 07/09/2008-10/09/2008, Dresde, Alemania. ISBN 978-3-00-025217-4.

Descripción

Título: Piezoelectric characterization of ain thin films on silicon substrates
Autor/es:
  • Hernando García, Jorge
  • Sánchez de Rojas Aldavero, José Luis
  • Ababneh, A.
  • Schmid, U.
  • González Castilla, Sheila
  • Iborra Grau, Enrique
Tipo de Documento: Ponencia en Congreso o Jornada (Artículo)
Título del Evento: XXII Eurosensors 2008
Fechas del Evento: 07/09/2008-10/09/2008
Lugar del Evento: Dresde, Alemania
Título del Libro: CD-ROM Proceedings of XXII Eurosensors 2008
Fecha: 7 Septiembre 2008
ISBN: 978-3-00-025217-4
Materias:
Palabras Clave Informales: piezoelectric, AlN, vibrometer
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

The electric field induced deformations of thin piezoelectric, aluminium nitride (AlN) layers, on top ofa silicon substrate, were studied by numerical calculations and interferometric measurements. Our calculationby finite element method demonstrates that substrate deformation under the top electrode may be comparableto the deformation in the thin AlN layer, for a given applied voltage. Simulations also show the effect of aclamped or free substrate condition and the relative contributions of d33 and d31 piezoelectric constants. ALaser scanning vibrometry technique was used to measure deformations in the top surface with sub-picometervertical resolution. By comparing calculations and experimental data, quantitative information about both d31and d33 constants can be obtained.

Más información

ID de Registro: 3916
Identificador DC: http://oa.upm.es/3916/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:3916
URL Oficial: http://www.eurosensors2008.com/
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 06 Sep 2010 08:32
Ultima Modificación: 20 Abr 2016 13:20
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