Dissolution of electrically inactive phosphorus by low temperature annealing

Peral Boiza, Ana; Dastgheib-Shirazi, Amir; Wagner, Hannes; Hahn, Giso y Cañizo Nadal, Carlos del (2015). Dissolution of electrically inactive phosphorus by low temperature annealing. "Energy Procedia", v. 77 ; pp. 311-315. ISSN 1876-6102. https://doi.org/10.1016/j.egypro.2015.07.040.

Descripción

Título: Dissolution of electrically inactive phosphorus by low temperature annealing
Autor/es:
  • Peral Boiza, Ana
  • Dastgheib-Shirazi, Amir
  • Wagner, Hannes
  • Hahn, Giso
  • Cañizo Nadal, Carlos del
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: Energy Procedia
Fecha: 2015
Volumen: 77
Materias:
Palabras Clave Informales: Phosphorus Diffusion Gettering; Electrically Inactive Phosphorus; Gettering; Iron; Low Temperature Annealing
Escuela: Instituto de Energía Solar (IES) (UPM)
Departamento: Otro
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

In this study we investigate the dissolution of electrically inactive phosphorus complexes by low temperature annealing after the POCl3 diffusion process. This has the immediate consequence that the existing near-surface emitter volume SRH recombination can be reduced. Thereby, a significant reduction of emitter saturation current density j0E is achieved without driving the emitter further into the silicon substrate. For short-term temperature treatments well below the POCl3 diffusion temperature, a reduction of up to -60 fA/cm2 has been achieved. This study increases our understanding of the formation and dissolution of electrically inactive phosphorus complexes during post-annealing processes.

Proyectos asociados

TipoCódigoAcrónimoResponsableTítulo
Gobierno de EspañaTEC2011-28423-C03Sin especificarSin especificarSin especificar
Comunidad de MadridS2013/MAE-2780Sin especificarSin especificarSin especificar

Más información

ID de Registro: 41001
Identificador DC: http://oa.upm.es/41001/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:41001
Identificador DOI: 10.1016/j.egypro.2015.07.040
URL Oficial: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1876610215008085
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 05 Sep 2016 17:17
Ultima Modificación: 17 Ene 2017 07:50
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