Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio

Abstract

En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros cuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una aleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras suspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados térmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas pérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado a cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos.