Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio

Vergara Herrero, Lucía (2000). Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio. Proyecto Fin de Carrera / Trabajo Fin de Grado, E.T.S.I. Telecomunicación (UPM).

Descripción

Título: Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio
Autor/es:
  • Vergara Herrero, Lucía
Director/es:
  • Clement Lorenzo, Marta
Tipo de Documento: Proyecto Fin de Carrera/Grado
Fecha: 2000
Materias:
Palabras Clave Informales: Bolómetro, silicio-germanio oxigenado, micromecanizado
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros cuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una aleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras suspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados térmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas pérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado a cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos.

Más información

ID de Registro: 473
Identificador DC: http://oa.upm.es/473/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:473
Depositado por: Lucía Vergara Herrero
Depositado el: 10 Abr 2008
Ultima Modificación: 20 Abr 2016 06:19
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