Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio

Vergara Herrero, Lucía (2000). Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio. Proyecto Fin de Carrera / Trabajo Fin de Grado, E.T.S.I. Telecomunicación (UPM).

Description

Title: Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio
Author/s:
  • Vergara Herrero, Lucía
Contributor/s:
  • Clement Lorenzo, Marta
Item Type: Final Project
Date: 2000
Subjects:
Freetext Keywords: Bolómetro, silicio-germanio oxigenado, micromecanizado
Faculty: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Department: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Creative Commons Licenses: Recognition - No derivative works - Non commercial

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Abstract

En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros cuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una aleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras suspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados térmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas pérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado a cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos.

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Item ID: 473
DC Identifier: http://oa.upm.es/473/
OAI Identifier: oai:oa.upm.es:473
Deposited by: Lucía Vergara Herrero
Deposited on: 10 Apr 2008
Last Modified: 20 Apr 2016 06:19
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