Exportar: Heat losses in a CVD reactor for polysilicon: comprehensive model and experimental validation

Ramos Cabal, Alba; Rodríguez Rodríguez, Araceli; Cañizo Nadal, Carlos del; Valdehita Torija, Javier; Zamorano Saavedra, Juan Carlos y Luque López, Antonio (2014). Heat losses in a CVD reactor for polysilicon: comprehensive model and experimental validation. "Journal of Crystal Growth", v. 402 ; ISSN 0022-0248.

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