Exportar: Thermal shields for heat loss reduction in Siemens-type CVD reactors

Ramos Cabal, Alba; Valdehita Torija, Javier; Zamorano Saavedra, Juan Carlos y Cañizo Nadal, Carlos del (2016). Thermal shields for heat loss reduction in Siemens-type CVD reactors. "Journal of Solid State Science and Technology" ; ISSN 2162-8769.

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