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Vergara Herrero, Lucía (2000). Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio. Proyecto Fin de Carrera / Trabajo Fin de Grado, E.T.S.I. Telecomunicación (UPM).
Title: | Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio |
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Author/s: |
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Contributor/s: |
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Item Type: | Final Project |
Date: | 2000 |
Subjects: | |
Freetext Keywords: | Bolómetro, silicio-germanio oxigenado, micromecanizado |
Faculty: | E.T.S.I. Telecomunicación (UPM) |
Department: | Tecnología Electrónica [hasta 2014] |
Creative Commons Licenses: | Recognition - No derivative works - Non commercial |
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En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros cuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una aleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras suspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados térmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas pérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado a cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos.
Item ID: | 473 |
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DC Identifier: | https://oa.upm.es/473/ |
OAI Identifier: | oai:oa.upm.es:473 |
Deposited by: | Lucía Vergara Herrero |
Deposited on: | 10 Apr 2008 |
Last Modified: | 20 Apr 2016 06:19 |