?url_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rft.title=Fabricaci%C3%B3n+y+caracterizaci%C3%B3n+de+bol%C3%B3metros+de+Si%3AGe%3AO+utilizando+t%C3%A9cnicas+de+micromecanizado+del+silicio&rft.creator=Vergara+Herrero%2C+Luc%C3%ADa&rft.contributor=Clement+Lorenzo%2C+Marta&rft.subject=Electronics&rft.subject=Materials&rft.description=En+este+proyecto+se+llevan+a+cabo+el+dise%C3%B1o%2C+la+fabricaci%C3%B3n+y+la+caracterizaci%C3%B3n+de+bol%C3%B3metros%0D%0Acuyo+elemento+termosensible+es+una+pel%C3%ADcula+delgada+de+alto+coeficiente+de+temperatura+formada+por+una%0D%0Aaleaci%C3%B3n+de+silicio+y+germanio+dopada+con+ox%C3%ADgeno.+Los+bol%C3%B3metros+se+han+fabricado+sobre+estructuras%0D%0Asuspendidas+utilizando+t%C3%A9cnicas+de+micromecanizado+del+silicio%2C+con+el+fin+de+obtener+soportes+aislados%0D%0At%C3%A9rmicamente+del+sustrato%2C+de+forma+que+los+bol%C3%B3metros+as%C3%AD+obtenidos+tengan+muy+baja+masa+y+pocas%0D%0Ap%C3%A9rdidas+y%2C+por+lo+tanto%2C+gran+sensibilidad+y+rapidez.+Una+vez+construidos+los+dispositivos+se+han+llevado%0D%0Aa+cabo+tanto+la+caracterizaci%C3%B3n+estructural+como+la+caracterizaci%C3%B3n+electro-%C3%B3ptica+de+los+mismos.&rft.publisher=E.T.S.I.+Telecomunicaci%C3%83%C2%B3n+(UPM)&rft.rights=http%3A%2F%2Fcreativecommons.org%2Flicenses%2Fby-nc-nd%2F3.0%2Fes%2F&rft.date=2000&rft.type=info%3Aeu-repo%2Fsemantics%2FbachelorThesis&rft.type=Final+Project&rft.type=NonPeerReviewed&rft.format=application%2Fpdf&rft.language=spa&rft.rights=info%3Aeu-repo%2Fsemantics%2FopenAccess&rft.identifier=http%3A%2F%2Foa.upm.es%2F473%2F