title: Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio
creator: Vergara Herrero, Lucía
contributor: Clement Lorenzo, Marta
subject: Electronics
subject: Materials
description: En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros  cuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una  aleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras  suspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados  térmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas  pérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado  a cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos.
publisher: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
rights: https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
date: 2000
type: info:eu-repo/semantics/bachelorThesis
type: Final Project
type: NonPeerReviewed
format: application/pdf
language: spa
rights: info:eu-repo/semantics/openAccess
identifier: https://oa.upm.es/473/