<> "The repository administrator has not yet configured an RDF license."^^ . <> . . "Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio"^^ . "En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros\r\ncuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una\r\naleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras\r\nsuspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados\r\ntérmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas\r\npérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado\r\na cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos."^^ . "2000" . . . "E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)"^^ . . . . . . . <> . . "Lucía"^^ . "Vergara Herrero"^^ . "Lucía Vergara Herrero"^^ . . "Marta"^^ . "Clement Lorenzo"^^ . "Marta Clement Lorenzo"^^ . . . . . . "Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio (PDF)"^^ . . . "Proyecto_Fin_de_Carrera_Lucia_Vergara_Herrero.pdf"^^ . . . "Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio (Other)"^^ . . . . . . "indexcodes.txt"^^ . . . "Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio (Other)"^^ . . . . . . "preview.jpg"^^ . . . "Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio (Other)"^^ . . . . . . "medium.jpg"^^ . . . "Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio (Other)"^^ . . . . . . "small.jpg"^^ . . . "Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio (Other)"^^ . . . . . . "lightbox.jpg"^^ . . "HTML Summary of #473 \n\nFabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio\n\n" . "text/html" . . . "Electrónica"@es . "Electronics"@en . . . "Materiales"@es . "Materials"@en . .