TY  - UNPB
TI  - Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio
N2  - En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros
cuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una
aleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras
suspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados
térmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas
pérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado
a cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos.
UR  - http://oa.upm.es/473/
AV  - public
A1  - Vergara Herrero, Lucía
KW  - Bolómetro
KW  -  silicio-germanio oxigenado
KW  -  micromecanizado
Y1  - 2000///
PB  - E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
ID  - upm473
ER  -