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dir: disk0/00/00/04/73
datestamp: 2008-04-10
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status_changed: 2009-09-24 21:21:59
type: other
metadata_visibility: show
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creators_name: Vergara Herrero, Lucía
contributors_name: Clement Lorenzo, Marta
title: Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio
publisher: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
rights: by-nc-nd
ispublished: unpub
subjects: electronica
subjects: materiales
full_text_status: public
keywords: Bolómetro, silicio-germanio oxigenado, micromecanizado
abstract: En este proyecto se llevan a cabo el diseño, la fabricación y la caracterización de bolómetros
cuyo elemento termosensible es una película delgada de alto coeficiente de temperatura formada por una
aleación de silicio y germanio dopada con oxígeno. Los bolómetros se han fabricado sobre estructuras
suspendidas utilizando técnicas de micromecanizado del silicio, con el fin de obtener soportes aislados
térmicamente del sustrato, de forma que los bolómetros así obtenidos tengan muy baja masa y pocas
pérdidas y, por lo tanto, gran sensibilidad y rapidez. Una vez construidos los dispositivos se han llevado
a cabo tanto la caracterización estructural como la caracterización electro-óptica de los mismos.
date_type: published
date: 2000
institution: Telecomunicacion
department: Tecnologia_Electronica
refereed: FALSE
citation:   Vergara Herrero, Lucía  (2000).  Fabricación y caracterización de bolómetros de Si:Ge:O utilizando técnicas de micromecanizado del silicio.  Proyecto Fin de Carrera / Trabajo Fin de Grado, E.T.S.I. Telecomunicación (UPM) <http://oa.upm.es/view/institution/Telecomunicacion/>.    
document_url: http://oa.upm.es/473/1/Proyecto_Fin_de_Carrera_Lucia_Vergara_Herrero.pdf