Fabrication of high frequency SAW resonators using AlN/Diamond/Si technology

Rodriguez Madrid, Juan; Ro, R.; Lee, R.; Williams, Oliver A.; Araujo, Daniel; Calle Gómez, Fernando y Villar, María Del Pilar (2011). Fabrication of high frequency SAW resonators using AlN/Diamond/Si technology. En: "2011 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)", 18/10/2011 - 21/10/2011, Orlando, Florida, EEUU. ISBN 978-1-4577-1253-1. pp..

Descripción

Título: Fabrication of high frequency SAW resonators using AlN/Diamond/Si technology
Autor/es:
  • Rodriguez Madrid, Juan
  • Ro, R.
  • Lee, R.
  • Williams, Oliver A.
  • Araujo, Daniel
  • Calle Gómez, Fernando
  • Villar, María Del Pilar
Tipo de Documento: Ponencia en Congreso o Jornada (Artículo)
Título del Evento: 2011 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
Fechas del Evento: 18/10/2011 - 21/10/2011
Lugar del Evento: Orlando, Florida, EEUU
Título del Libro: Proceedings of 2011 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
Fecha: 2011
ISBN: 978-1-4577-1253-1
Materias:
Escuela: Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM) (UPM)
Departamento: Ingeniería Electrónica
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

The synthesis of AlN on diamond is a great challenge, not only because of the between an AlN/diamond interface, but also because of the high surface roughness of the diamond layers [8, 9]. In the case of microcrystalline diamond, the last problem was solved by polishing. However, polishing nanocrystalline diamond is not straightforward. For the diamond synthesis by CVD, silicon was used as a substrate. The diamond/Si interface presents a smoother diamond than the diamond/air interface. This paper reports on the fabrication of high frequency SAW resonators using AlN/Diamond/Si technology.

Más información

ID de Registro: 12898
Identificador DC: http://oa.upm.es/12898/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:12898
URL Oficial: http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=6293303
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 08 Nov 2012 12:01
Ultima Modificación: 21 Abr 2016 12:13
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