High-Acoustic-Impedance Tantalum Oxide Layers for Insulating Acoustic Reflectors

Capilla Osorio, José; Olivares Roza, Jimena; Clement Lorenzo, Marta; Sangrador García, Jesús; Iborra Grau, Enrique y Devos, Arnaud (2012). High-Acoustic-Impedance Tantalum Oxide Layers for Insulating Acoustic Reflectors. "IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency", v. 59 (n. 3); pp. 366-372. ISSN 0885-3010. https://doi.org/10.1109/TUFFC.2012.2205.

Descripción

Título: High-Acoustic-Impedance Tantalum Oxide Layers for Insulating Acoustic Reflectors
Autor/es:
  • Capilla Osorio, José
  • Olivares Roza, Jimena
  • Clement Lorenzo, Marta
  • Sangrador García, Jesús
  • Iborra Grau, Enrique
  • Devos, Arnaud
Tipo de Documento: Artículo
Título de Revista/Publicación: IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency
Fecha: Marzo 2012
Volumen: 59
Materias:
Escuela: E.T.S.I. Telecomunicación (UPM)
Departamento: Tecnología Electrónica [hasta 2014]
Licencias Creative Commons: Reconocimiento - Sin obra derivada - No comercial

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Resumen

This work describes the assessment of the acoustic properties of sputtered tantalum oxide films intended for use as high-impedance films of acoustic reflectors for solidly mounted resonators operating in the gigahertz frequency range. The films are grown by sputtering a metallic tantalum target under different oxygen and argon gas mixtures, total pressures, pulsed dc powers, and substrate biases. The structural properties of the films are assessed through infrared absorption spectroscopy and X-ray diffraction measurements. Their acoustic impedance is assessed by deriving the mass density from X-ray reflectometry measurements and the acoustic velocity from picosecond acoustic spectroscopy and the analysis of the frequency response of the test resonators.

Más información

ID de Registro: 15683
Identificador DC: http://oa.upm.es/15683/
Identificador OAI: oai:oa.upm.es:15683
Identificador DOI: 10.1109/TUFFC.2012.2205
URL Oficial: http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=06174181
Depositado por: Memoria Investigacion
Depositado el: 17 Jun 2013 16:34
Ultima Modificación: 21 Abr 2016 15:56
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